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硅片
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硅片

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产品简介   

硅片镀膜、通讯、激光光电和红外光学等行业提供高品质、高精度的单晶硅(多晶硅)晶体元器件,以及在产品设计及应用方面为客户提供专业的技术支持。

公司产品包括直拉(CZ)单晶硅、区熔(FZ)单晶硅切割片(as cut)以及研磨片(lapped),可根据用户需求,选择合适的材料,并加工成各种形状(圆形,方形,长方形等)。

产品规格说明

外形尺寸 1",2", 3", 4", 6", 8"~12" 可定制
导电类型 N型,P型,本征(不掺杂) 客户要求
直径 50 300mm  
厚度 100 1000 μm 可定制
常规厚度 Dia 50.8x400μm, Dia 76.2x400μm 
Dia 100x500μm,Dia200x725μm
Dia 300x775μm
厚度误差 ±10μm  
平整度(TIR) < 3 μm  
翘曲度(BOW) ≤15μm  
TTV ≤10μm  
电阻率 0.000120000 (Ω·cm) 客户要求
碳含量 5.0 x 1016 atoms/cc  
氧含量

1.0 x1018 atoms/cc

 
晶向 〈100〉± 0.5°;〈110〉±0.5°;〈111〉± 0.5° 客户要求
少子寿命 ≥15μs  
位错密度 3 X 103 /cm2  
级别 光学级;太阳能级;IC级 客户要求
表面 研磨片,单抛,双抛, 客户要求

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