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不锈钢背管
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不锈钢背管

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不锈钢背板
不锈钢背板通常适用于旋转靶的背管,成本较低且可回收利用。

背板材料的选择需考虑以下因素:
背板材料和靶材的热传递性;
导电性;
抗冷却水压的机械性能及热循环效果;
重复利用性。

背板的作用:
在溅射过程中可支撑脆性靶材, 如陶瓷靶和软金属材料;
在溅射过程中起到热传递的作用。


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