产品简介

       蓝宝石（Sapphire,又称白宝石，分子式为Al2O3）单晶是一种优秀的多功能材料。它耐高温，导热好，硬度高，透红外，化学稳定性好。广泛用于工业、国防和科研的多个领域（如耐高温红外窗口等）。同时它也是一种用途广泛的单晶基片材料，是当前蓝、紫、白光发光二极管（LED）和蓝光激光器（LD）工业的首选基片（需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜），也是重要的超导薄膜基片。

  产品规格说明  

  1.常规蓝宝石晶片

         

Crystal Materials	99,996% of Al2O3,High Purity, Monocrystalline, Al2O3
Crystal quality	Inclusions, block marks, twins, Color, micro-bubbles and dispersal centers are non-existent
Diameter	2inch	3inch	4inch	5inch ～ 7inch
	50.8± 0.1mm	76.2±0.2mm	100±0.3mm	In accordance with the provisions of standard production
Thickness	430±15µm	550±15µm	650±20µm	Can be customized by customer
Orientation	C- plane (0001) to M-plane (1-100) or A-plane(1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-plane (1-1 0 2), A-plane (1 1-2 0 ), M-plane(1-1 0 0), Any Orientation , Any angle
Primary flat length	16.0±1mm	22.0±1.0mm	32.5±1.5 mm	In accordance with the provisions of standard production
Primary flat Orientation	A-plane (1 1-2 0 ) ± 0.2°
TTV	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
LTV	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
TIR	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
BOW	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
Warp	≤10µm	≤15µm	≤20µm	≤30µm
Front Surface	Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
Back Surface	Fine ground (Ra=0.5 to 1.2 µm), Epi-Polished (Ra< 0.2nm)
Note	Can provide high-quality sapphire substrate wafer according to customers' specific requirement

 

 2. R面蓝宝石晶片

 公司根据客户的特殊需求，也另生产R面蓝宝石晶片！

  

4寸R面蓝宝石衬底	项目规格	尺寸与公差	单位
	直径	100±0.3	mm
	厚度	500	µm
	厚度公差	±20	µm
	晶向	R面
	定向精度	定向精度＜0.08°（5′）
	基准边	边长：32.5 ± 1.5	mm
	基准边晶向	（0ī11）	---
		定向精度＜0.08°（5′）
	表面粗糙度	<0.2	nm
	翘曲度（Warp）	<20	µm
	表面处理	双面抛光	N/A

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